Определение энергетических диаграмм структур Si-HfO2 и Si-ZrO2 на основе метода полевых циклов в электролите

Статья. Опубликована в электронном журнале "Исследовано в России" №
95. - СПб.: НИИФ им. Фока В.А. СПГУ, 2004 г. - 6 с.Аннотация:
Цель данной работы заключалась в демонстрации возможности оценки указанных характеристик структур кремний-диэлектрик с помощью метода полевых циклов в системе электролит-диэлектрик-полупроводник (ЭДП).
Суть метода заключалась в получении зависимости потенциала плоских зон структуры (определялся на основе измерения высокочастотных вольт-фарадных характеристик) от средней напряженности электрического поля, создаваемого в окисном слое в процессе предварительной поляризации структуры в электролите («+» на кремнии).